उच्च स्तरीय धातु सिलिकॉन धातु 97

ट्रेस और ट्रेस अशुद्धता तत्वों का एक साथ निर्धारण AL, CA, Fe, MN, P, Cr, Cu, Ni, Ti, V, Zr, AS और B इंडिकली युग्मित प्लाज्मा परमाणु उत्सर्जन स्पेक्ट्रोस्कोपी (ICP-AES)सिलिकॉन मेटल 97। एक सिलिकॉन मेटल स्टैंडर्ड सैंपल, NIST SRM -57 A, अनुकूलित उपकरण शर्तों और परख मीडिया के तहत सिलिकॉन धातु के नमूनों के निर्धारण के लिए संतोषजनक परिणामों के साथ निर्धारित किया गया था। सिलिकॉन धातु के नमूनों में ट्रेस और ट्रेस अशुद्धियों की वसूली 95%~ 105%के बीच थी, और सापेक्ष मानक विचलन आरएसडी 5%से कम था, जो संचालित करना आसान था, विश्लेषण करने के लिए तेजी से, और सटीक और विश्वसनीय परिणाम।

1.माइक्रोसेंसर सिस्टम में, मल्टी-लेयर फ्यूज़िबलसिलिकॉन मेटल 97इस तथ्य को दूर करने के लिए इंटरकनेक्शन प्रक्रिया का उपयोग किया जाता है कि जब माइक्रोसेंसर और आईसी चिप मोनोलिथिक रूप से एकीकृत होते हैं, तो एल्यूमीनियम कनेक्शन माइक्रोसेन्सर की विनिर्माण प्रक्रिया में आवश्यक उच्च तापमान को प्राप्त नहीं कर सकता है, और इंटरकनेक्शन संरचना को मानक CMOS प्रक्रिया पर संसाधित किया जा सकता है। लाइन, जो विनिर्माण लागत को कम करती है। टेप-आउट के बाद, इंटरकनेक्ट संरचना में मजबूत कदम कवरेज, अच्छी थर्मल स्थिरता, कम प्रतिरोधकता और आसान सूखी नक़्क़ाशी की विशेषताएं हैं, जो बड़े पैमाने पर आईसी मल्टी-लेयर इंटरकनेक्ट की आवश्यकताओं को पूरा कर सकती हैं। बड़े पैमाने पर डिजिटल-एनालॉग हाइब्रिड इंटीग्रेटेड सर्किट से बना एक इंटीग्रेटेड सर्किट क्रमशः 500 डिग्री 5, एच, 600 डिग्री, 30 मिनट, 650 डिग्री 5, और मिनट के बाद अपने प्रदर्शन को बरकरार रखता है। उपरोक्त एनीलिंग स्थितियां फेरोइलेक्ट्रिक पतली फिल्मों के आधार पर माइक्रोसेंसर सिस्टम के अखंड एकीकरण की आवश्यकताओं को पूरा करती हैं।

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