उच्च स्तरीय धातु सिलिकॉन धातु 551

एक अर्धचालक डिवाइस के निर्माण के लिए एक विधि, सेमीकंडक्टर डिवाइस में एक सतह के साथ एक अर्धचालक शरीर शामिल होता है, सतह सिलिकॉन क्षेत्र से सटे होती है और इन्सुलेट सामग्री क्षेत्र, प्रत्येक सिलिकॉन क्षेत्र को एक शीर्ष परत के साथ प्रदान किया जाता है।सिलिकॉन मेटल 551, धातु को अर्धचालक शरीर की सतह पर जमा किया जाता है, और फिर अर्धचालक शरीर को बयान प्रक्रिया में धातु सिलाइड बनाने के तापमान तक गर्म किया जाता है। जो जमा किया जाता है वह कोबाल्ट और निकल होता है, और फिर अर्धचालक शरीर को एक तापमान पर गर्म किया जाता है जहां कोबाल्ट या निकल सिलाइड का गठन होता है। प्रत्येक सिलिकॉन क्षेत्र से सटे इन्सुलेटिंग सामग्री क्षेत्र के प्रत्येक भाग में धातु सिलिकाइड्स के विकास से बचने के लिए।

1.की अनुवर्ती प्रक्रिया की कठिनाई को कम करने के लिएसिलिकॉन मेटल 551अचार, सिलिकॉन धातु को परिपक्व कमरे के तापमान अचार तकनीक और नई गीली ऑक्सीजन ऑक्सीकरण तकनीक के आधार पर शुद्ध किया गया था। अचार का मुख्य कार्य सिलिकॉन धातु कणों की सतह पर उजागर किए गए अधिकांश धातु अशुद्धियों को दूर करना है; गीले ऑक्सीजन के ऑक्सीकरण के बाद, कणों में एक छोटे जमावट गुणांक (सिलिकॉन और सिलिका सिस्टम में जमावट गुणांक) के साथ बोरॉन उच्च तापमान पर सिलिका में फैलता है, और फिर ऑक्साइड परत और उसमें अशुद्धियों को हटाने के लिए कोरोड करता है। प्रयोगों से पता चलता है कि विधि में बोरॉन अशुद्धियों पर स्पष्ट शुद्धि प्रभाव है, और बोरॉन अशुद्धियों की सामग्री 4 × 10-6 के रूप में कम है।

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