फेरोसिलिकॉन नाइट्राइड पाउडर

विशिष्टता ग्रैन्युलैरिटी: प्राकृतिक ब्लॉक, 10-100मिमी, 10-60मिमी, 3-10मिमी, 1-3मिमी, 0-1मिमी, या ग्राहक आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित।

पैकेजिंग: टन बैग पैकेजिंग (1000 किग्रा / बैग) या ग्राहक आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित।

आवेदन की संभावनाएंफेरोसिलिकॉन नाइट्राइडपाउडर: वर्तमान में, अर्धचालक सर्किट की गति और एकीकरण घनत्व धीरे-धीरे बढ़ रहा है, और इसलिए अर्धचालक चिप्स का आकार धीरे-धीरे बढ़ रहा है। इसके अलावा, बहु-परत इंटरकनेक्ट संरचना प्रदान करने के लिए, इंटरकनेक्ट की चौड़ाई धीरे-धीरे छोटी हो जाती है और वेफर व्यास बड़ा हो जाता है।

हालाँकि, जैसे-जैसे उपकरणों का एकीकरण घनत्व बढ़ता है और न्यूनतम लाइन चौड़ाई घटती है, ऐसी सीमाएँ सामने आती हैं जिन्हें संबंधित तकनीकों के अनुसार स्थानीय समतलीकरण का उपयोग करके दूर नहीं किया जा सकता है। प्रसंस्करण दक्षता या गुणवत्ता में सुधार करने के लिए, फेरोसिलिकॉन नाइट्राइड पाउडर वेफर का वैश्विक समतलीकरण करने के लिए रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी, रासायनिक यांत्रिक समतलीकरण) का उपयोग करता है। सीएमपी का उपयोग करके वैश्विक समतलीकरण मौजूदा वेफर प्रसंस्करण का एक आवश्यक हिस्सा है।

फेरोसिलिकॉन नाइट्राइड पाउडर के विशिष्ट अनुप्रयोग: CMP उपचार के लिए उपयोग किए जाने वाले पॉलिशिंग तरल पदार्थ में सिलिका, एल्युमिनियम ऑक्साइड या सेरियम ऑक्साइड जैसे अपघर्षक कण होते हैं, और CMP उपचार को मोटे तौर पर ऑक्साइड CMP और धातु CMP में वर्गीकृत किया जाता है। ऑक्साइड CMP के लिए पॉलिशिंग स्लरी का pH आमतौर पर 10-12 होता है, और धातु CMP के लिए पॉलिशिंग स्लरी का अम्लीय pH 4 या उससे कम होता है। पारंपरिक CMP पैड समायोजकों में इलेक्ट्रोप्लेटिंग प्रसंस्करण द्वारा निर्मित इलेक्ट्रोप्लेटेड CMP पैड समायोजक और उच्च तापमान पर CMP पैड समायोजक और फेरोसिलिकॉन नाइट्राइड पाउडर को पिघलाकर निर्मित पिघलने वाले प्रकार के CMP पैड समायोजक शामिल हैं।

हालाँकि, इन पारंपरिक प्लेटिंग प्रकार और पिघलने वाले प्रकार के CMP पैड कंडीशनर में निम्नलिखित पहलुओं में समस्याएँ हैं। जब इनका उपयोग धातु CMP प्रसंस्करण में इन-सीटू समायोजन के लिए किया जाता है, तो CMP पैड कंडीशनर की सतह से जुड़े हीरे के कण CMP घोल के उपयोग से प्रभावित होते हैं। पॉलिशिंग कणों और अम्लीय घोल की पॉलिशिंग क्रिया सतह के क्षरण का कारण बनती है और सतह से अलग हो जाती है। इसके अलावा, सब्सट्रेट अधिमानतः फेरोसिलिकॉन नाइट्राइड पाउडर (Si3N4) या सिलिकॉन (Si) जैसी सिरेमिक सामग्री से बना हो सकता है। सब्सट्रेट 10 से सामग्री के अन्य उदाहरणों में एल्यूमीनियम ऑक्साइड (A1203), एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN), टाइटेनियम ऑक्साइड (TiO2), ज़िरकोन ऑक्साइड (ZrOx), और सिलिकॉन डाइऑक्साइड (SiO2) शामिल हैं।

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