आधुनिक सामग्री ज़िरकोनियम लक्ष्य

अल्ट्रा-वियर-प्रतिरोधी और उच्च-संचारण के लिए एक तैयारी विधिज़िर्कोनियम लक्ष्यइसमें निम्नलिखित चरण शामिल हैं: S1, सब्सट्रेट की सफाई, सब्सट्रेट की सतह पर दाग हटाना और ब्लोइंग सुखाना; एस2. साफ किए गए सब्सट्रेट को मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण में डालें, और जब स्पटरिंग कैविटी का वैक्यूम आवश्यकताओं को पूरा करता है, तो स्पटरिंग कैविटी को स्पटरिंग कैविटी में अशुद्धता अणुओं को डिस्चार्ज करने के लिए बेक किया जाता है; एस3. बेकिंग के बाद, ज़िरकोनिया फिल्म को रेडियो फ्रीक्वेंसी बिजली की आपूर्ति, आर्गन और ऑक्सीजन को स्पटरिंग गैस के रूप में उपयोग करके मैग्नेट्रोन स्पटरिंग द्वारा सब्सट्रेट पर जमा किया जाता है;

1.पेरोक्सीजन के मामले में, यह सुनिश्चित करने के लिए उच्च-शक्ति रेडियो फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग का उपयोग किया जाता हैज़िर्कोनियम लक्ष्यजमाव प्रक्रिया के दौरान जिरकोनिया प्राप्त करने के लिए प्रतिक्रिया गैस के साथ पूरी तरह से प्रतिक्रिया कर सकता है। उच्च-शक्ति स्पटरिंग यह सुनिश्चित कर सकती है कि ज़िरकोनियम परमाणुओं की प्रारंभिक ऊर्जा अधिक है, और जब सब्सट्रेट पर जमा किया जाता है, तो ज़िरकोनिया फिल्म सघन हो सकती है, अच्छे पहनने के प्रतिरोध के साथ, और बेहतर फिल्म-आधारित आसंजन सुनिश्चित कर सकती है। यह सुनिश्चित करने के लिए प्रक्रिया को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है कि ज़िरकोनिया फिल्म की मोटाई नियंत्रणीय है और संप्रेषण की आवश्यकताओं को पूरा करती है। गिर जाना। अल्ट्रा-वियर-प्रतिरोधी और उच्च-संचारण ज़िरकोनिया फिल्म की तैयारी विधि, जिसमें निम्नलिखित चरण शामिल हैं: सब्सट्रेट की सफाई करना, सब्सट्रेट की सतह पर दाग हटाना और ब्लोइंग सुखाना; साफ किए गए सब्सट्रेट को मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग उपकरण में रखा जाता है, और जब स्पटरिंग कैविटी का वैक्यूम आवश्यकताओं को पूरा करता है, तो स्पटरिंग कैविटी को स्पटरिंग कैविटी में अशुद्धता अणुओं को डिस्चार्ज करने के लिए बेक किया जाता है; बेकिंग के बाद, ज़िरकोनियम को लक्ष्य सामग्री के रूप में उपयोग किया जाता है, रेडियो फ्रीक्वेंसी पावर का उपयोग किया जाता है, आर्गन और ऑक्सीजन स्पटर गैस होते हैं, और जिरकोनिया फिल्म मैग्नेट्रोन स्पटरिंग के माध्यम से सब्सट्रेट पर जमा की जाती है।

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