उत्पाद विवरण
सिलिकॉन नाइट्राइडपतली फिल्मों में घनी संरचना, उच्च शक्ति और अच्छे पहनने के प्रतिरोध होते हैं, और इसका उपयोग एमईएमएस उपकरणों में संरचनात्मक घटकों के रूप में किया जा सकता है। सिलिकॉन नाइट्राइड फिल्मों के यंग के मापांक और कठोरता का परीक्षण PECVD विधि द्वारा किया गया था, और युवाओं के मापांक और फिल्मों की कठोरता पर बयान तापमान और प्रतिक्रिया गैस प्रवाह अनुपात के प्रभावों का विश्लेषण किया गया था। सिलिकॉन नाइट्राइड फिल्म का उपयोग आरएफ एमईएमएस स्विच बनाने के लिए एक निलंबन बीम के रूप में किया गया था।
उत्पाद पैरामीटर
| श्रेणी | N | साई | सीए मिन | ओ मिन | सी मिनट | अल मिन | फ़े मिन |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
उत्पाद सहयोग चित्र
1.सिलिकॉन नाइट्राइडचीनी मिट्टी की चीज़ें उच्च तापमान और उच्च शक्ति वाले संरचनात्मक सिरेमिक हैं, जिनमें व्यापक विकास की संभावनाएं हैं। इसमें उच्च प्रदर्शन (जैसे कि उच्च शक्ति, अच्छा थर्मल शॉक स्थिरता, उच्च थकान क्रूरता, कमरे के तापमान पर उच्च फ्लेक्सुरल ताकत, पहनने के प्रतिरोध, ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आदि) और जीवन के सभी क्षेत्रों में व्यापक रूप से उपयोग किया गया है। सिलिकॉन नाइट्राइड की तैयारी के तरीकों में मुख्य रूप से रिएक्शन सिंटरिंग (आरएस), हॉट प्रेशर सिन्टरिंग (एचपीएस), वायुमंडलीय दबाव सिंटरिंग (पीएलएस) और वायवीय दबाव सिंटरिंग (जीपीएस) शामिल हैं। वर्तमान में, मुख्य समस्या यह है कि सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक उत्पादों में कम क्रूरता और उच्च लागत होती है। भविष्य में, बेहतर सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक विकसित करने के लिए मिलिंग, मोल्डिंग और सिंटरिंग प्रक्रियाओं और सिलिकॉन नाइट्राइड और सिलिकॉन कार्बाइड के कंपाउंडिंग में सुधार करना आवश्यक है।
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