सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड-भविष्य को पावर करना
Electronic-grade silicon carbide (6H/4H polytypes) sets new benchmarks with: Resistivity: >1x10⁵, · cm, micropipe घनत्व:<1 cm⁻²
भूतल खुरदरापन: ra से कम या 0 के बराबर।
संशोधित अनुप्रयोग
डोपेड SIC: OHMIC संपर्कों के लिए एल्यूमीनियम (5x10⁸ परमाणु/सेमी))
Sic epitaxial substrates: 10-100 μM मोटाई के साथ कम या 5% मोटाई भिन्नता के बराबर
Quantum-grade SiC: NV center density >क्वांटम सेंसिंग के लिए 500/मिमी।
सिलिकॉन कार्बाइड पैरामीटर
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ट्रेडमार्क |
ज़ेनन |
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उत्पाद |
सिलिकन कार्बाइड |
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पवित्रता |
88% 90% 98% |
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आकार |
धैर्य और पाउडर |
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एचएस कोड |
284920 |
गुणवत्ता नेतृत्व
ऑपरेटिंग क्लास 1 0 0 क्लीनरूम (आईएसओ 14644-1), हम वीडीए 6.3 प्रक्रिया नियंत्रण और सेमी एस 2/एस 8 अनुपालन को लागू करते हैं। Fraunhofer संस्थान के साथ साझेदारी करते हुए, हमने 0.02ppb धातु संदूषण स्तरों को प्राप्त करने के लिए मालिकाना दोष मानचित्रण तकनीक विकसित की है। हमारे वेफर शिपमेंट किट में वास्तविक समय आर्द्रता ट्रैकिंग के साथ नाइट्रोजन-सील वाले कैसेट हैं।
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