उच्च स्तरीय धातु सिलिकॉन धातु 553

के निर्माण के लिए एक स्व-संरेखण विधि सिलिकॉन मेटल 553 iS अनुक्रम में सब्सट्रेट पर एक गेट संरचना और एक स्रोत/नाली क्षेत्र बनाने के लिए उपयोग किया जाता है। उसके बाद, आयन आरोपण कदम गेट संरचना की सतह और स्रोत/नाली क्षेत्र की सतह पर धातु आयनों को प्रत्यारोपण करने के लिए किया जाता है। फिर, दो गर्मी उपचार प्रक्रियाओं को गेट संरचना की सतह और स्रोत/नाली क्षेत्र की सतह पर धातु आयनों और सिलिकॉन को सिलिकेट करने के लिए किया जाता है, और गेट संरचना की सतह पर एक अत्यधिक प्रवाहकीय धातु सिलाइड परत बनाती है और स्रोत/नाली क्षेत्र की सतह। उनमें से, मेटल आयन कोबाल्ट, टाइटेनियम, निकेल, प्लैटिनम या पैलेडियम हो सकते हैं।

1.में बोरान को हटाने के लिए एक विधिसिलिकॉन मेटल 553ट्रांसफर में। इसमें शामिल हैं: सबसे पहले, जलमग्न भट्ठी में कम तरल सिलिकॉन धातु को स्थानांतरण लाडल में स्थानांतरित किया जाता है; फिर पहले से गरम मिश्रित गैस को स्थानांतरण लाडल के नीचे से तरल सिलिकॉन धातु में उड़ा दिया जाता है, और मिश्रित गैस उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन, जल वाष्प, आर्गन से बना है; पूर्ण प्रतिक्रिया और अशुद्धता हटाने के बाद, तरल सिलिकॉन धातु स्थानांतरण लाडल के नीचे से बहती है और उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन धातु प्राप्त करने के लिए कास्ट किया जाता है। वर्तमान आविष्कार उच्च-शुद्धता वाले ऑक्सीजन, जल वाष्प और आर्गन मिश्रित गैस को ट्रांसफर लाडल के नीचे से पिघले हुए राज्य में सिलिकॉन धातु में उच्च तापमान पर उच्च-शुद्धता वाले ऑक्सीजन को प्रीहीट करके, और बोरॉन और फास्फोरस को हटाने का प्रभाव डालता है। अशुद्धियां स्पष्ट हैं, और अशुद्धियों के दूसरे हिस्से को गैस या फ्लोट पर ले जाने के लिए आसानी से खेलने वाले पदार्थ को उत्पन्न करने के लिए ऑक्सीकरण किया जाता है तरल सिलिकॉन धातु की सतह, ताकि सिलिकॉन धातु में अशुद्धियां काफी कम हो जाएं। अन्य बोरॉन हटाने के तरीकों की तुलना में, इस तकनीक के स्पष्ट आर्थिक लाभ हैं, जो ऊर्जा की खपत को कम कर सकते हैं, अशुद्धता को हटाने की प्रक्रिया को छोटा कर सकते हैं, और कम लागत और उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन धातु के औद्योगिक उत्पादन का एहसास कर सकते हैं।

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