उच्च स्तर की सामग्री सिलिकॉन धातु 97

सिलिकॉन मेटल 97माइक्रोइलेक्ट्रोनिक उपकरणों में स्रोत, नाली और गेट और धातु इलेक्ट्रोड के बीच संपर्क में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, और नैनो एकीकृत सर्किट की तैयारी के लिए प्रमुख सामग्रियों में से एक है। इसका उपयोग चरण संरचना, इंटरफ़ेस प्रतिक्रिया और अर्धचालक एकीकृत सर्किट के लिए कार्यात्मक धातु सिलाइड के गठन तंत्र के लिए भी किया जा सकता है, साथ ही थर्मल वाष्पीकरण, आयन आरोपण, स्पटर डिपॉज़िट, आणविक बीम एपिटैक्सी और अन्य तैयारी प्रौद्योगिकियों के लिए भी उपयोग किया जा सकता है।

1.प्रत्यक्ष वर्तमान आर्क पाउडर विधि का उपयोग आर्गन वातावरण में स्पेक्ट्रोस्कोपी की शूटिंग के लिए किया गया था, सिलिकॉन बैंड के हस्तक्षेप को खत्म करने के लिए, और बेरिलियम का उपयोग आंतरिक मानक के रूप में सीधे 12 अशुद्धता तत्वों को निर्धारित करने के लिए किया गया था।सिलिकॉन मेटल 97,जो रासायनिक स्पेक्ट्रोमेट्री की तुलना में तेजी से और कम अभिकर्मक खपत को संचालित करने के लिए सरल था। रासायनिक विधि और स्पेक्ट्रोफोटोमेट्री की तुलना में, यह एक ही समय में 12 तत्वों को निर्धारित कर सकता है, जो सिलिकॉन धातु की सही सामग्री को बेहतर ढंग से प्रतिबिंबित कर सकता है। सिलिकॉन धातु को सफलतापूर्वक चावल की भूसी की राख के कार्बन-थर्मल कमी और सी/एसआईओ 2 के प्रभाव द्वारा तैयार किया गया था। सिलिकॉन धातु की तैयारी पर बड़े पैमाने पर अनुपात की जांच की गई थी, और नमूनों को एक्सआरडी और आरए-मैन परीक्षण विधियों की विशेषता थी। परिणाम बताते हैं कि जब C/SiO2 का द्रव्यमान अनुपात 1: 2.5 है, तो नमूना का मुख्य क्रिस्टलीय चरण सिलिकॉन धातु है, जो सिलिकॉन धातु उत्पादन की लागत को कम करता है और चावल की भूसी राख के संसाधन उपयोग के लिए एक नया तरीका प्रदान करता है।

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